A Closed-Loop System for Resonant MEMS Sensors Subject to Blue-Sideband Excitation-MedSci.cn

A Closed-Loop System for Resonant MEMS Sensors Subject to Blue-Sideband Excitation

Xu, L; Xi, JQ; Gao, L; Li, FZ; Pi, JY; Li, CX; Wang, KF; Xiong, XY; Wang, Y; Liu, HF; Zou, XD; Zhao, C

Wang, Y (通讯作者)，Huazhong Univ Sci & Technol, MOE Key Lab Fundamental Phys Quant Measurement, Wuhan 430074, Peoples R China.;Wang, Y (通讯作者)，Huazhong Univ Sci & Technol, Hubei Key Lab Gravitat & Quantum Phys, PGMF, Wuhan 430074, Peoples R China.;Wang, Y (通讯作者)，Huazhong Univ Sci & Technol, Sch Phys, Wuhan 430074, Peoples R China.

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