Nanofabrication and -metrology by using the Nanofabrication Machine (NFM-100)-MedSci.cn

Nanofabrication and -metrology by using the Nanofabrication Machine (NFM-100)

Ortlepp, I; Stauffenberg, J; Krotschl, A; Dontsov, D; Zollner, JP; Hesse, S; Reuter, C; Strehle, S; Frohlich, T; Rangelow, IW; Manske, E

Ortlepp, I (通讯作者)，Tech Univ Ilmenau, Inst Proc Measurement & Sensor Technol, Gustav Kirchhoff Str 1, D-98693 Ilmenau, Germany.;Ortlepp, I (通讯作者)，Tech Univ Ilmenau, Microsyst Technol Grp, Max Planck Ring 12, D-98693 Ilmenau, Germany.

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